Technische Universität Chemnitz. Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik Bezüge im Wissensnetz Administrative Überordnung der Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Chemnitz. Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik Homepage (1) GND-Körperschaften leb Sitz (1) GND-Körperschaften Chemnitz