Technische Universität Chemnitz. Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik Bezüge im Wissensnetz Als Administrative Überordnung der Körperschaft beteiligt (1) GND-Körperschaften Technische Universität Chemnitz. Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik Administrative Überordnung der Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Chemnitz. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Homepage (1) GND-Körperschaften inst-mikro Sitz (1) GND-Körperschaften Chemnitz