ILMVAC GmbH Bezüge im Wissensnetz Sitz (1) GND-Körperschaften Ilmenau Geographischer Wirkungsbereich (1) GND-Körperschaften Thüringen Thema (1) GND-Körperschaften Vakuumtechnik Oberbegriff instantiell (1) GND-Körperschaften Unternehmen