Atomlagenabscheidung Bezüge im Wissensnetz Literatur und Nachweise (85) DNB-Titeldaten 85 Einträge — alle anzeigen → Urn:rvk2skos:authority entity (1) Weitere Quellen ZM%207685#index-1-5ca90c84468f Related match (1) Weitere Quellen CVD-Verfahren Als Verwandter Begriff beteiligt (1) GND MLD-Verfahren Erschlossen unter (1) Weitere Quellen CVD-Verfahren Oberbegriff generisch (1) GND CVD-Verfahren In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2 (1) GND 671.735 Close match (1) GND sh2014000151