Interferenzlithografie Bezüge im Wissensnetz Oberbegriff allgemein (2) GND Fotolithografie <Halbleitertechnologie> Nanolithografie In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2 (1) GND 621.38152 Ähnlich (1) GND sh2005005547