Sonderforschungsbereich Nanometer-Halbleiterbauelemente - Grundlagen, Konzepte, Realisierungen Bezüge im Wissensnetz Administrative Überordnung der Körperschaft (2) GND-Körperschaften Deutsche Forschungsgemeinschaft Walter Schottky Institut Sitz (1) GND-Körperschaften Garching b. München Oberbegriff instantiell (1) GND-Körperschaften Sonderforschungsbereich