Institut für Mikro- und Feinwerktechnik (Wien)
"... per 1.1.2004 Fusion des Institutes für Mikro- und Feinwerktechnik mit dem Institut für industrielle Elektronik und Materialwissenschaften zum Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme...Innerhalb dieses neuen Institutes wurde aus dem IMFT die Abteilung für Mikrosystemtechnik (MST)."