International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems (11 : 1998 : Heidelberg) Bezüge im Wissensnetz Als Vorherige Konferenz oder Veranstaltung beteiligt (1) GND 5325660-8 Veranstaltungsort (1) GND Heidelberg Nachfolgende Konferenz oder Veranstaltung (1) GND 5325660-8