Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie Hauptsitz: Itzehoe, Nebensitz: Berlin Bezüge im Wissensnetz Als Affiliation beteiligt (5) GND-Personen Benecke, Wolfgang Doucet, Felix Müller-Groeling, Axel Päsler, Malte Su, Jingxiang Als Administrative Überordnung der Körperschaft beteiligt (3) GND-Körperschaften Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Abteilung Biotechnische Mikrosysteme Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Integrierte Energiesysteme Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. MEMS-Anwendungen Sitz (2) GND-Körperschaften Berlin Itzehoe Administrative Überordnung der Körperschaft (1) GND-Körperschaften Fraunhofer-Gesellschaft Homepage (1) GND-Körperschaften www.isit.fraunhofer.de