PECVD-Verfahren Bezüge im Wissensnetz Literatur und Nachweise (331) DNB-Titeldaten 331 Einträge — alle anzeigen → Ähnlich (2) GND Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma Plasma-enhanced chemical vapor deposition Ähnlich (2) GND Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma Plasma-enhanced chemical vapor deposition Oberbegriff allgemein (2) GND CVD-Verfahren Plasmaabscheidung Unterbegriff allgemein (1) GND LEPECVD-Verfahren In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2 (1) GND 671.735 Im Schema (1) GND authorities Ist Teil von (1) GND authorities