Röntgenlithografie Bezüge im Wissensnetz Ähnlich (2) GND Lithographie par rayons X X-ray lithography Ähnlich (2) GND Lithographie par rayons X X-ray lithography Urn:rvk2skos:authority entity (1) Weitere Quellen ZN%204170#index-3-4d13933eb91e Related match (1) Weitere Quellen Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Erschlossen unter (1) Weitere Quellen Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Unterbegriff allgemein (1) GND Röntgentiefenlithographie Oberbegriff generisch (1) GND Lithografie <Halbleitertechnologie> In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2 (1) GND 621.381531 Im Schema (1) GND authorities Ist Teil von (1) GND authorities