Elektronenstrahllithografie Bezüge im Wissensnetz Literatur und Nachweise (70) DNB-Titeldaten 70 Einträge — alle anzeigen → Ähnlich (2) GND Lithographie par faisceau d'électrons Lithography, Electron beam Ähnlich (2) GND Lithographie par faisceau d'électrons Lithography, Electron beam Urn:rvk2skos:authority entity (1) Weitere Quellen ZN%204170#index-1-13298c7ee884 Related match (1) Weitere Quellen Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Als Verwandter Begriff beteiligt (1) GND Elektronenstrahlschreiben Erschlossen unter (1) Weitere Quellen Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Oberbegriff generisch (1) GND Lithografie <Halbleitertechnologie> In Beziehung stehende Dewey-Dezimalklassifikation mit Determiniertheitsgrad 2 (1) GND 621.381531 Im Schema (1) GND authorities Ist Teil von (1) GND authorities