Technische Universität Hamburg-Harburg. Arbeitsbereich Mikrosystemtechnik Bezüge im Wissensnetz Als Affiliation beteiligt (2) GND-Personen Müller, Jörg Schaumburg, Hanno Administrative Überordnung der Körperschaft (2) GND-Körperschaften Technische Universität Hamburg-Harburg. Studiendekanat Elektrotechnik Technische Universität Hamburg-Harburg. Studiendekanat Elektrotechnik und Informationstechnik Als Vorherige Körperschaft beteiligt (1) GND-Körperschaften Technische Universität Hamburg-Harburg. Institut für Mikrosystemtechnik Als Nachfolgende Körperschaft beteiligt (1) GND-Körperschaften Technische Universität Hamburg-Harburg. Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Vorherige Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Hamburg-Harburg. Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Sitz (1) GND-Körperschaften Hamburg-Harburg Nachfolgende Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Hamburg-Harburg. Institut für Mikrosystemtechnik