Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien
31.3.2015 Namensänderung der Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien in Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien, dabei Kürzel „EMFT“ beibehalten