Symposium on Photomask and Next Generation Lithography Mask Technology (28. : 2022 : Online) Aufgrund der COVID-19-Pandemie online abgehalten. Bezüge im Wissensnetz Veranstalter oder Gastgeber (2) GND Photomask Japan SPIE Veranstaltungsort (1) GND Yokohama Homepage (1) GND 2022