Technische Universität Dresden. Professur für Mikrosystemtechnik Bezüge im Wissensnetz Administrative Überordnung der Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Dresden. Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik Homepage (1) GND-Körperschaften ms Sitz (1) GND-Körperschaften Dresden