Technische Universität Ilmenau. Fachgebiet Mikromechanische Systeme Bezüge im Wissensnetz Administrative Überordnung der Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Ilmenau. Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano Sitz (1) GND-Körperschaften Ilmenau