Sonderforschungsbereich/Transregio 87 Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese Nanostrukturierter Funktionsschichten Bezüge im Wissensnetz Administrative Überordnung der Körperschaft (3) GND-Körperschaften Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen Universität Paderborn Ruhr-Universität Bochum. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Sitz (3) GND-Körperschaften Aachen Paderborn Bochum Isb (1) DNB-Titeldaten 3105723-8 Homepage (1) GND-Körperschaften www.sfbtr87.de Thema (1) GND-Körperschaften Plasmatechnik Oberbegriff instantiell (1) GND-Körperschaften Sonderforschungsbereich