Institut für Mikrosystemtechnik, Mechatronik und Mechanik. Fachgebiet Mechatronik Bezüge im Wissensnetz Als Affiliation beteiligt (2) GND-Personen Silge, Martin Volkert, Ralf Administrative Überordnung der Körperschaft (1) GND-Körperschaften Technische Universität Ilmenau. Institut für Mikrosystemtechnik, Mechatronik und Mechanik Sitz (1) GND-Körperschaften Ilmenau