International Workshop on Wafer Bonding for MEMS Technologies (2 : 2006 : Halle (Saale)) Bezüge im Wissensnetz Als Nachfolgende Konferenz oder Veranstaltung beteiligt (1) GND 6053895-8 Vorherige Konferenz oder Veranstaltung (1) GND 6053895-8 Veranstaltungsort (1) GND Halle (Saale)